光刻胶打破垄断


中国拿到论文也造不出EUV?日本光刻胶巨头被批“傲慢”

[文/观察者网吕东]

“我认为中国也想发展其EUV(极紫外光刻)能力,并适应这一领域的生态系统。但坦率地说,我认为他们很难做到这一点。”5月23日,《金融时报》援引日本光刻胶巨头JSR首席执行官埃里克·约翰逊的话说。

在半导体制造领域,EUV光刻机和材料的研发确实非常困难。然而,约翰逊在美国总统拜登访日之际发表了这样的评论,被外国网友在这篇报道的底部批评为“过于傲慢”。网友直言不讳地评论,“如果你认为中国需要几十年才能赶上先进芯片,那你就低估了中国的创造力”,“他们成功只是时间问题”。

事实上,荷兰光刻机巨头ASML (ASML)的首席执行官彼得·文(Peter Wen)在今年1月就表达了与强生类似的观点,称“中国不太可能复制顶级的EUV光刻机”。但他当时补充道,永远不要这么绝对。中国的物理规律和全世界是一样的,“他们一定会试”。

英国《金融时报》报道截图

JSR公司成立于1957年,中文名称是日本合成橡胶,是世界上主要的光刻胶供应商之一。在应用上,光刻胶是半导体、液晶面板(LCD)、印刷电路板(PCB)等行业的重要原料。在半导体领域,光刻胶的分辨率决定了器件的尺寸。根据曝光波长,光刻胶可分为G线、I线、KrF、ArF和最先进的EUV(极紫外)光刻胶。

第三方数据显示,截至2021年,JSR是全球仅有的四家EUV光刻胶供应商之一。这种光致抗蚀剂用于EUV平版印刷术,是制造最先进芯片的基本材料。此外,JSR在ArF光刻胶领域以24%的市场份额位居全球第一;在整个光刻胶领域,JSR以13%的市场份额位居世界第三,日本东京华英和美国陶氏化学分别位居第一和第二。

来源:华景信息网

埃里克·约翰逊目前是JSR的首席执行官,也是日本公司中为数不多的美国高管之一。他在接受英国《金融时报》采访时表示,中国很难掌握基于极紫外光刻或称为极紫外的复杂芯片制造技术。

约翰逊发表声明之际,拜登正在亚洲访问。5月20日,拜登、美国商务部长雷蒙多等人抵达韩国,直接前往三星最先进的3nm工厂参观。EUV光刻机是实现这一过程必不可少的设备,拜登当场强调“半导体供应链要稳定”。

拜登参观了三星电子的3 nm工厂。

作为半导体制造中最重要的环节之一,EUV光刻机可以在硅片上雕刻出所需的微小电路。

CinResearch半导体事业部总经理Elvis Hsu在接受Observer.com记者采访时表示,光刻机中半导体制造设备的价格最高,约为25-30%。研发难点在于曝光光源、对准系统、透明镜头等技术的集成,以及巨大的资金投入。目前掩膜版光刻机技术领先的厂商,可以稳定生产90/65nm制造工艺的掩膜版光刻机。

“即使中国拿到了化学成分的详细资料...将很难在纯度、精确度和大规模生产方面取得成功。没那么简单,而且他们没有供应链来支持这一点。”在前述采访中,约翰逊表示,开发尖端技术需要几十年时间和大量资金...这个行业真的需要像iPhone这样的产品来承担RD成本。

毫无疑问,约翰逊在半导体行业有话语权,但他的观点似乎并没有得到所有网友的认同。

《观察家报》注意到,在这篇报道底部为数不多的评论中,一位外国网友写道:

我还记得美国的汽车和家电制造商在五六十年代也有同样的傲慢:过去日本生产的产品质量相当低,而西方没有人认为他们能生产出更高质量的产品。他们不妨读读斯隆1963年的书《我在通用汽车的岁月》。斯隆在书中宣称:不要认为市场份额是理所当然的。

我也知道半导体设备是有史以来最复杂的产品。但如果我们认为中国需要几十年才能赶上,那我们就低估了中国的能力和创造力。看看超级计算机和生物技术领域。中国已经走在了世界的前列。虽然半导体制造完全是两码事,但我认为中国瞄准的是下一代技术(就像大家都在发展4G技术的时候,中国已经专注于5G技术)。正是因为制造系统会有所不同,所以他们必须开发一种新技术来绕过目前的限制。

国外用户评论截图

另一位网友写道:

我很好奇,为什么这样一个受人尊敬的人(因为他的资历和在业内的独特地位,一个在日本公司工作的孤独的美国人)会如此勇敢(或者如此愚蠢)?),冒着风险公开发表如此危险的言论。除非我从字里行间漏掉了什么特别的东西,我看不出这位高管说的话有什么优点,但我能想象出他话里的很多缺点。我希望他说这些话是有正当理由的——祝他好运。

国外用户评论截图

另一位网友评论道:

在我看来,事情的方向是美国试图通过阻碍自由贸易来削弱竞争对手的经济,这将适得其反。中国和其他竞争对手将以更低的成本开发自己的替代产品。没人喜欢被勒索的想法。我认为他们会成功只是时间问题。唯一能阻止他们的人就是他们自己。

国外用户评论截图

约翰逊在发表前述声明的同时,还提到中国企业正在积极投资不太先进的芯片制造技术,这些技术同样重要。“人们没有充分意识到中国有多少不依赖于尖端技术的机会。”

财报显示,截至2021年3月31日的财年,JSR在中国市场实现营收6.62亿美元(约合人民币44.08亿元),占总营收的16.41%。中国是该公司的第二大市场。

JSR财报截图

约翰逊指出,中国是JSR增长战略的重要组成部分。但同时他提到希望以尊重和负责任的态度为中国客户提供服务,同时兼顾“对美国政府的关心和对保护日本利益的关心”[S2/]。

针对江森提到的EUV技术,ASML首席执行官Peter Wen在今年1月初表示,“由于ASML依靠不懈的创新,集成了只能从非中国供应商那里获得的零件,中国独立复制顶级光刻技术的可能性不大。但我的意思并不是绝对不可能,因为中国的物理规律和我们是一样的。绝对不要这么绝对,他们一定会尝试的。”

ASML NXE3400 EUV光刻机图片来源:ASML官网

自2018年以来,ASML一直试图向中国大陆出售EUV光刻机,希望进一步进入中国大陆市场,但荷兰政府没有批准其出口许可证的申请。在美国的持续施压下,这一要求被荷兰官方搁置。

“出口管制将加快中国的自主研发,他们将在15年内制造一切”“在中国完全控制供应链后,欧洲供应商将彻底失去市场”。事实上,彼得·文在去年4月就已经公开表达了自己的焦虑,但美国一直选择视而不见。

至于持续两年的全球核心短缺问题,约翰逊在前述采访中指出,削弱全球经济的芯片供应瓶颈问题要到明年才能解决。他认为,半导体行业在满足汽车芯片需求方面存在“问题”,因为这些领域使用的芯片没有那么先进,利润低,投入少。

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