1.良好的温度稳定性。电容传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，并且由于其发热极小，对稳定性影响不大。但电阻传感器有铜损，容易因发热产生零点漂移。
2.结构简单。电容式传感器结构简单，制造容易，精度高，可以做得很小，实现一些特殊的测量。能在高温、强辐射、强磁场等恶劣环境下工作，能承受巨大的温度变化、高压、高冲击、过载等。可以测量超高温低压差，也可以测量磁功。
