光刻机是干什么用的 为何对中国如此重要
1.光刻机是芯片制造的核心设备之一,根据用途可以分为几种类型:用于芯片生产的光刻机;有包装用的光刻机;在LED制造领域也有投影掩模对准器。
2.用于生产芯片的光刻机是中国半导体设备制造最大的短板。目前国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
3.掩模光刻机,也称为掩模光刻机、曝光系统、光刻系统等。常用的掩模光刻机是掩模对准光刻,所以称为掩模对准系统。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗干燥、底涂、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烤、显影、硬烤、刻蚀等过程。光刻法是利用光来制作图案(工艺);平整硅晶片表面,然后将掩模上的图案转移到光刻胶上,从而将器件或电路结构临时“复制”到硅晶片上的工艺。