电子束及离子束达到的功率还不够高，而且由于带电粒子间的排斥力，使电子束及离子束的聚焦比激光困难些。因此电子束、离子束聚变，目前还不如激光聚变成熟。离子束聚变时，目前主要用碳、氧、氮等轻离子。采用重离子束时，由于成本过高，发展前途不大。
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