由高频振荡器产生的高频电流连接到位于等离子体发生器管上端的由铜制成并由水冷却的管状线圈。在由应时制成的等离子体发生器管中有三个同轴的氩通道。
冷却气体(Ar)通过外通道和中间通道，包围等离子体，起到稳定等离子体炬和冷却石英管壁的作用，防止管壁受热熔化。
工作气体(Ar)从中间的应时管道引入。当它开始工作时，高压放电装置开始电离工作气体。当电离气体通过石英管顶部周围的高频感应线圈时，线圈产生的巨大热能和交变磁场使电离气体的电子和离子与基态的氖原子反复发生剧烈碰撞。各种粒子的高速运动使气体完全电离，形成线圈状的等离子炬区，这里的温度高达6000-10000。
样品处理成溶液后，通过超雾化装置变成全溶胶，从底部导入管中，通过轴向石英管从喷嘴喷入等离子炬中。当气溶胶进入等离子体火焰时，大部分样品立即分解成受激原子和离子。
当这些受激粒子恢复到稳定的基态时，应该会发射出一定的能量(用一定的波长谱表示)。通过测量每种元素独特的谱线和强度，与标准溶液对比，就可以知道样品中所含元素的种类和含量。
