1、识别需要运用分析程序的账户余额或交易；
2、确定期望值，确定可接受的差异额；
3、识别需要进一步调查的差异，调查异常数据关系。
（1）并非所有认定都适合使用实质性分析程序。
（2）如果数据之间不存在稳定的可预期关系，注册会计师将无法运用实质性分析程序。
（3）在信赖实质性分析程序的结果时，注册会计师应当考虑实质性分析程序存在的风险。
细节测试与实质性分析程序的区别为：目的不同、操作不同、必须性不同。
一、目的不同
1、细节测试：细节测试目的在于直接识别财务报表认定是否存在错报。
2、实质性分析程序：实质性分析程序目的在于提供方向性指导作用。
二、操作不同
1、细节测试：细节测试的操作是对各类交易、账户余额、列报的具体细节进行测试。
2、实质性分析程序：实质性分析程序的操作是根据财务数据之间以及财务数据和非财务数据之间的内在关系进行分析，并得到分析结论。
三、必须性不同
1、细节测试：细节测试是必须执行的程序。
2、实质性分析程序：实质性分析程序不是必须执行的程序。
