韩国开发出 EUV 晶圆：三星、海力士都要买
2008年9月9日:三年前，日本为了打压韩国，宣布限制向韩国出口多种先进的半导体技术和材料。EUV产品非常敏感，但韩国公司也在积极开发替代产品。近日，SK财团的子公司SK Siltron宣布开发出10nm级别的第四代(1a) DRAM的抛光晶圆，可用于EUV技术的存储芯片生产。
Sktron是韩国最大的硅片公司，世界第三大。其产品主要包括抛光片和外延片。前者基于高精度多晶硅，适用于内存和闪存芯片，后者基于高精度单晶硅，适用于逻辑工艺，即CPU、GPU等芯片的生产。
三星SK海力士的DRAM存储芯片也开始应用EUV技术。以前，只有两家日本公司，精工和信越(他们是第一和第二大硅片供应商)，可以生产所需的EUV级硅片，三星必须从日本制造商进口产品。随着SK Siltron大规模生产EUV级硅片，三星和SK Hynix也将从韩国公司购买产品，以减少对日本制造商的依赖，并使其供应链多样化。
