国产 5nm 蚀刻机下半年交付台积电美国工厂？
近日有消息称，中微半导体设备(上海)有限公司制造的5nm蚀刻机将于今年下半年交付TSMC美国工厂，可以说是国产蚀刻机的重大突破。
那么什么是蚀刻机呢？
我们都知道，在芯片制造的过程中，需要使用光刻机在硅片上绘制芯片的电路图，接下来的工作就要交给蚀刻机了。蚀刻机主要负责把多余的硅材料“挖”出来，最后形成晶粒极其细小的芯片。因此，蚀刻机的技术难度和重要性不亚于光刻机。
中国微半导体公司在蚀刻机领域具有先进的技术水平。这款5nm蚀刻机的交付也意味着其成功进入TSMC的5nm芯片生产线。
