光刻机的操作

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光刻机原理 进来看看

1.在光刻机里做芯片的过程基本和“冲洗照片”一样。假设你在拍一个风景,胶片上会有曝光痕迹。第一,要在暗室里冲洗,这样风景才能在胶片上显示出来。然后在红光下,通过放大镜,将胶片上的景物投射到相纸上,相纸曝光。通过对相纸进行显影、定影和干燥,得到最终的照片。除了风景,“照片冲印”还需要胶片、光源、放大镜和相纸。

2.对于光刻机来说,所谓的“布景”就是设计好的IC,“胶片”就是用来记录IC的应时板(掩膜版),“相纸”就是硅片,“放大器”就相当于光刻机。

3.不同的是,冲洗一张照片时,把小胶片放大到相纸上,缩小光刻机时,把电路图缩小到晶片上。

4.在光刻机领域,有三个国际品牌:荷兰的ASML、日本的尼康和日本的佳能。然而,在高端光刻机市场,荷兰ASML是无可争议的世界领导者,将第二名远远甩在后面。尼康和佳能因为技术难度高、投入大,已经放弃了EUV光刻机的研发。

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