光刻机是什么 光刻机是什么东西
掩模光刻机,又称掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。,是制造芯片的核心设备。它使用类似于照片印刷的技术,通过曝光将掩模上的精细图案印刷到硅片上。掩模对准器的类型可以分为接触曝光、接近曝光和投影曝光。
光刻机的工作原理是通过一系列光源能量和形状控制手段,使光束透过带有电路图的掩模,通过物镜补偿各种光学误差,将电路图按比例缩小后映射到硅片上。然后通过化学显影得到刻在硅片上的电路图。
一般的光刻工艺要经过硅片表面清洗干燥、打底、旋涂光刻胶、软烤、对准曝光、后烤、显影、硬烤、激光刻蚀等工序。光刻机的制造和维护对光学和电子行业的基础要求很高,所以世界上只有少数厂家掌握。
光刻机的品牌很多,根据技术路线的不同可以分为以下几类:高端投影光刻机可以分为步进投影和扫描投影光刻机,分辨率通常在七纳米到几微米之间。高端光刻机被称为世界上最精密的仪器,世界上已经有1.2亿美元的光刻机。光刻机是现代光学工业之花,其制造难度之大,世界上只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要是荷兰的ASML,日本的尼康,日本的佳能。