什么是离子束？

美国、前苏联从20世纪60年代开始研究将氢氧原子分开，取带电氢离子，用磁场将其聚成束，加速到极高速度，发射出去。不过因为目前的加速技术不足，无法将氢离子加速到军事打击所要求的速度，而且受地球磁场影响，离子束在发射一定距离后就开始分散，改变方向，所以目前仍为投入实用。

离子束是以近似一致的速度沿几乎同一方向运动的一群离子。离子源是用以获得离子束的装置。在各类离子源中，用得最多的是等离子体离子源，即用电场将离子从一团等离子体中引出来。这类离子源的主要参数由等离子体的密度、温度和引出系统的质量决定。属于这类离子源的有:潘宁放电型离子源、射频离子源、微波离子源、双等离子体源、富立曼离子源等。另一类使用较多的离子源是电子碰撞型离子源，主要用于各种质谱仪器中。此外，离子源还有表面电离源、光致电离离子源、液态金属离子源等类型。

离子束加工被认为是最有前途的超精密加工和微细加工技术。是一种原子级的加工方法，具有极高的分辨率，广泛应用于航空航天制造等领域。

离子束加工是利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应来进行不同的加工。