光刻机的工作原理及关键技术

1.光刻机是现代光学产业的花朵，是半导体产业的核心技术。可能有很多人不能理解光刻机的重要地位。掩模对准器是制造芯片的机器。没有光刻机，我们就无法制造芯片，自然也就没有我们现在的手机和电脑。

2.光刻机是芯片制造的核心设备，可分为芯片制造用光刻机、封装用光刻机和LED制造用投影光刻机。

3.目前，全世界能生产光刻机的企业只有几家，占主导地位的是荷兰的ASML公司。ASML是一家市值约900亿美元、拥有16000名员工的公司。这16000人中，RD人员占36%以上，也就是说有6000多人是RD人员。正是这16000人帮助ASML开发了——EUV光刻机，世界上最顶尖的光刻机。