纯水和超纯水一般都没有统一的标准。一般意义上讲纯水至少应该是去离子水，即水中大部分阴阳离子是应该被去除的。
1、超纯水处理，是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达1825MΩcm(25℃)。
2、超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩcm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。
3、纯水又称去离子水，是指市政自来水通过电渗析器法、离子交换器法、反渗透法、蒸馏法及其他适当的加工方法，制得的密封于容器内，且不含任何添加物，无色透明，可直接饮用的水，也可以称为纯净物(在化学上)，在试验中使用较多，又因是以蒸馏等方法制作，故又称蒸馏水。
4、市场上出售的太空水，蒸馏水均属纯净水;纯水不含有矿物质，但是人体所需的矿物质并不一定要从水中获取、像平常的饮食也能获取大于普通水里含有的其他元素。
中国有超纯水。
超纯水是为了研制超纯材料半导体元件材料纳米精细陶瓷材料等应用蒸馏去离子化反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，简单地说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水，这样的水是一般工艺很难达到的程度，理论上可以采用二级反渗透再经过串联的混合型交换树脂柱对二次反渗水进行处理，但是交换树脂的再生不便质量难以保证。
超纯水制备
加入少量高锰酸钾的水源，用玻璃蒸馏装置进行二次蒸馏，再以全石英蒸馏器进行蒸馏，收集于石英容器中，可得超纯水，使用强酸性阳离子和强碱型阴离子交换树脂柱的混合床或串联柱，可充分除去水中的阳阴离子，俗称去离子水，再用全石英蒸馏器进行蒸馏，收集可得超纯水。
超纯水不是重水。
超纯水（Ultrapure water）又称UP水，是指电阻率达到18 MΩcm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。重水是氘和氧的化合物，比一般水重，全称一氧化二氘。含矿物质多的水。重氢和氧的化合物。无色、无臭、无味的液体。原子能工业中用作减速剂，也是制取重氢的原料。
纯水由于矿物质含量的降低，被喝进身体以后会导致细胞因为渗透压被胀破，或者是，长期饮用纯水会导致身体内矿物质含量降低，让人长期处在亚健康的水平。
我们所喝的桶装纯净水就是利用RO反渗透技术生产的纯水，这种水喝起来和自来水的味道完全不一样，因为自来水中含有Ca（HCO3）2、Mg（HCO3）2。
钙盐和镁盐含量的多少是人们区分硬水和软水的标准，含量越高水越硬，喝起来有种微微的咸味道，钙和镁这两种化学元素是人体所必需的微量元素。
水的重要性
在人体中水的含量占据了身体质量的绝大部分，成年人大约为70%左右，所以把一个人身体内的水分榨干基本就不剩了。
由于人体并不是一个封闭的系统，每时每刻都要和外界交换物质来获取能量，这中间都有水的参与，例如你每呼吸一次，皮肤水分的蒸发、排泄都会造成大量水分的流失，导致人体体液电解质浓度过高。
据估计，人每天会通过以上的途径流失大约15升左右的水，所以我们每天必须补充大量的水来保证正常的代谢活动。
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