甲硅烷的密度比甲烷大。甲硅烷密度0648g/cm3，甲烷密度05548g/cm3。
甲硅烷是无色易挥发液体，化学性质稳定，不被浓硫酸或强碱分解。在紫外线照射下可氯化成氯甲基三甲基硅烷。具有很高的热稳定性，660-720℃下才开始分解。 在室温下硅烷是一种易燃的气体，在空气中无需外加火源，硅烷就可以自燃。在超过420摄氏度的环境下硅烷会分解成硅和氢。因此硅烷可以被用来提纯硅。 硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在室温下着火，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其它气体稀释，如果浓度不够低仍能自燃。硅烷是强还原剂，与重金属卤化物激烈反应，硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时玻璃中的碱成分也能分解硅烷。主要用于制半导体材料高纯度硅，以及硅氧烷等衍生物。
甲烷在自然界的分布很广，甲烷是最简单的有机物，是天然气，沼气，坑气等的主要成分，俗称瓦斯。也是含碳量最小（含氢量最大）的烃，也是天然气、沼气、油田气及煤矿坑道气的主要成分。它可用来作为燃料及制造氢气、炭黑、一氧化碳、乙炔、氢氰酸及甲醛等物质的原料。
甲硅烷的
摩尔质量
为32g/mol,因此1G甲硅烷的
物质的量
为1/32mol,即1/32mol甲硅烷燃烧放热446KJ，那么1mol甲硅烷燃烧放热为32446KJ=14272KJ
SiH4(g)
+
2O2(g)
===
SiO2(s)
+
2H2O(l)
△H=-14272
KJ/mol
硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物。应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。
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