2020年将是中国半导体行业艰难的一年。因为美国一纸禁令,必须使用华为EUV光刻机的5nm芯片,麒麟9000无法生产,让很多人愤怒又无奈。
可以说每一个关心中国科技发展的小伙伴都在问,我们的国产光刻机什么时候能出来,我们自己的光刻机什么时候能为华为加工高端芯片?今天就来聊聊这个话题,对国产光刻机做个小盘点,梳理一下国产光刻机的发展现状。
今天,我们将以问答的形式进行,具体如下:
是的,制造商是上海微电子。
在上海微电子官网可以看到,2018年3月,上海微电子90nm光刻机项目通过正式验收。也就是说,目前我们国产的光刻机已经可以做到90nm工艺。
此前有网友爆料称,上海微电子将于2020年12月推出首款采用ArF光源的SSA800/10W掩模版光刻机。它是一款国产浸没式DUV光刻机,可以实现28纳米节点的单次曝光。所以这个说法一直在网上流传。但是,对于这个消息,有人说是真的,有人说是假的。很混乱。
为此,我专门做了核实。所以在求证的过程中,我发现了这样一条信息,或许可以说明一些情况。
这是江苏省开发区协会发表的一篇文章,标题是:易科宏远集成电路光刻光源制造与服务基地项目启动。文中提到,到2020年,产品将与整机单元一起完成28nm国产光刻机的集成。
换句话说,易科宏远的准分子激光器将与上海微电子的光刻机匹配,计划中的光刻机可以实现28纳米工艺。
因为分销渠道的性质,我们基本可以确定,能实现28nm工艺的国产光刻机确实有自己的事情,原计划是2020年下线。
然而,由于一些未知的原因,这篇文章被官方网站删除了。但是,在田燕charikeyhongyuan的相关页面中可以看到,系统捕获了保留的信息。
另外,现在是2021年。28纳米光刻机是否按计划完成?我们在上海微电子官网或者其他官网都没有找到相关信息。
还有两份报告:
一个是方正证券去年发布的相关信息例子。显示国家02专用光刻机项目二期将于2020年12月接受上海微电子设计集成的193nm ArF浸没式DUV光刻机。
第二,知名媒体DIGITIMES曾报道,上海微电子预计2021年第四季度交付第二代深紫外(DUV)光刻机,可实现28 nm工艺。
所以,基本上是可以做到的。上海微电子确实在做可以实现28 nm工艺的国产DUV光刻机。能否通过验收,何时交付,都是未知数。
28 nm将是我们国产光刻机的最高技术水平。严格来说,这真的不算高水平。它前面还有14,7,5,3,2甚至1nm。
但28nm是成熟技术,生产成本低。只要不追求极致的性能,这种工艺的芯片性能也是够用的,生产我们日常生活中的电子设备是没有问题的,比如电视机、电视盒子、音响、电梯、空调谐器、微波炉、冰箱、汽车等等。
或者你可以这样理解。在小型设备中,需要制造工艺较低的芯片,比如手机。因为空空间有限,要实现更好的性能,芯片需要更先进的生产工艺。
此外,根据研究机构IC Insights发布的《全球晶圆生产率2020-2024》报告预测,到2024年,半导体制造工艺的格局将分为三部分:10nm以下工艺、10-20nm以上工艺和20nm以上工艺,各自的市场份额约为1/3,而28nm以上成熟工艺的市场份额在未来四年内将保持不变,仍会有较大的市场。
所以没必要一味追求制造工艺。
最后,我必须告诉你,我的国产光刻机是最好的。为什么?因为全世界只有中国能做到纯国产光刻机。即使是光刻机巨头荷兰的ASML,其产品也融合了许多国家的尖端技术。一旦有一天,由于种种原因,荷兰的一些技术被限制,那么它的光刻机很可能会停产。因为每项技术都是世界顶尖的,可替代性微乎其微。即使找到替代技术,也可能严重影响光刻机的生产和后续的芯片制造。
反观我们国产的光刻机,所有技术都是自主研发,上海微电子负责整体集成:
超光栅山系统来自中科院上海光机所物镜组,来自光源,来自宏远浸没系统,来自浙江机电双工作台,来自华卓精科。
所以即使世界上出现了问题,比如现在的疫情,甚至战争,也不会对我们有什么影响。当然,这需要我们有完整的国产半导体产业链。
总之,国产光刻机在路上,虽然离世界顶尖技术还很远,但我们已经在奋力追赶了。随着我国科技人才的持续井喷,国家战略方向的支持,企业研发力度的加大,全国人民的大力支持,胜利之日永远不会遥远。未来全球半导体的格局会改变,迁移到中国也不是不可能,因为既有光刻机产品,也有光刻机市场,因为中国是全球半导体最大的需求方,谁也替代不了。