集成电路行业中所说的“掩膜”是什么意思啊如题，请教

集成电路行业中所说的“掩膜”是光掩膜

光掩膜(mask)资料:

在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到wafer制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。

光掩膜除了应用于芯片制造外，还广泛的应用与像LCD，PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种，铬版(chrome)、干版，凸版、液体凸版。主要分两个组成部分，基板和不透光材料。基板通常是高纯度，低反射率，低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约01um的铬层。铬的硬度比玻璃略小，虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶，硬度小且易吸附灰尘，不过干版还有包膜和超微颗粒干版，其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下，通常讲的菲林即film，底片或胶片的意思，感光为微小晶体颗粒)。

在刻画时，采用步进机刻画(stepper)，其中有电子束和激光之分，激光束直接在涂有铬层的4-9“ 玻璃板上刻画，边缘起点5mm，与电子束相比，其弧形更逼真，线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有称为中间掩膜，reticle作为单位译为光栅)，用步进机重复将比例缩小到master maks上，应用到实际曝光中的为工作掩膜(working mask)，工作掩膜由master mask复制过来。

n

面具, 面罩, 伪装; 掩饰 防毒[火]面具 戴面具的人 化装舞会 面部模型 面庞或头像(通常为奇形怪状) (狐狸的)头或脸 狗狐等头部的嘴周围黑色部分 军掩蔽物; 掩体 刷蒙片;摄蔽光框; (电视显象管前面的)屏框 时标, 时间标志 自掩码, 分离字 心理人格面具 面膜(化妆品) 电子(集成电路布局的)模板 船船尾护木

a mask of snow on the ground

掩盖地面的一层雪

The robbers were wearing masks

抢劫犯戴着面罩。

The nurses wore masks and close-fitting white caps

护士们戴着口罩和紧紧扣住头发的白帽子。

The jokes were a mask to hide his sadness

玩笑是掩盖他内心悲伤的方式。

是面膜的一种。大致中文是“水粘面膜”。

例如：LANEIGE (兰芝) Mini Pore Waterclay Mask，成分如下：

成份 中文名称 概略特性 抗UV 粉刺 刺激 安心度

Water 水 ‧溶剂

Sea Salt 海盐

Kaolin 高岭土, 膨润土 0 0

Glycerin 甘油, 丙三醇 ‧溶剂

‧保湿 0 0

Bentonite 膨润土, 皂土 0 0

Alcohol 乙醇, 酒精 ‧溶剂

Microcrystalline Cellulose 微晶纤维素

Peppermint Extract 辣薄荷提取

Pinus Sylvestris Bud Extract 欧洲赤松芽提取 ‧香料

Phytosphingosine 鞘氨醇, 植物鞘氨醇

Glyceryl caprylate 甘油辛酸酯 ‧柔润剂

‧乳化剂

Lecithin 卵燐脂, 卵磷脂, ‧保湿

‧抗氧化

‧油性滋润

‧乳化剂

Ceteareth-20 鲸蜡硬脂醇聚醚-20, ‧表面剂

‧乳化剂

Cetyl Alcohol 鲸蜡醇, 棕榈醇, ‧表面剂

‧柔润剂 2 2

Cellulose gum 羧甲基纤维素,

Stearyl Alcohol 十八烷醇, 十八醇, ‧表面剂 2 2

Ethylhexylglycerin 乙基己基甘油 ‧保湿

Xanthan Gum 黄原胶, 三仙胶,

Titanium Dioxide 二氧化钛 ‧色料

‧防晒 0 0

Pentylene Glycol 戊二醇, 1, ‧保湿

Hydrogenated Polydecene 氢化聚癸烯

Disodium EDTA 乙二胺四乙基二钠,

Phenoxyethanol 苯氧乙醇, 苯氧基乙醇, ‧防腐剂

Black Oxide of Iron 黑色氧化铁 ‧色料

供参考。

mask

[mB:sk]

n

面具, 掩饰, 石膏面像

vt

戴面具, 掩饰, 使模糊

vi

化装, 戴面具, 掩饰, 参加化装舞会

mask

mask

AHD:[m�0�5sk]

DJ[m#sk]

KK[m#sk]

n（名词）

A covering worn on the face to conceal one's identity, as:

面具，面罩，假面具：带在脸上以隐藏身份的覆盖物，如：

A covering, as of cloth, that has openings for the eyes, entirely or partly conceals the face, and is worn especially at a masquerade ball

（化妆舞会的）面具：布做面具，上有孔可露出双眼、全部或部分地遮住面部，尤在假面舞会上佩戴

A grotesque or comical representation of a face, worn especially to frighten or amuse, as at Halloween

（万圣节带的）面具：古怪的或惹人发笑的面部面具，尤用于唬人或娱乐，如在鬼节时常佩戴的

A facial covering worn for ritual

宗教仪式用的面罩

A figure of a head worn by actors in Greek and Roman drama to identify a character or trait and to amplify the voice

面具：古希腊和罗马的戏剧演员佩戴的人物面具或头部面具，用以标明戏中人物性格或品质，同时扩大声音

A protective covering for the face or head

罩，防护罩：用于脸或头的保护性覆盖物

A gas mask

防毒面具

A covering for the nose and mouth that is used for inhaling oxygen or an anesthetic

氧气罩、麻醉罩：用于为嘴或鼻子吸入氧气或麻醉的覆盖物

A covering worn over the nose and mouth, as by a surgeon or dentist, to prevent infection

口罩：外科医生或牙医佩戴的防止感染的覆盖物

A mold of a person's face, often made after death

人死后做的面模

An often grotesque representation of a head and face, used for ornamentation

头像：面或头部通常奇怪的象征，用于装饰

The face or facial markings of certain animals, such as foxes or dogs

面部特写：某动物的脸或脸部用的印记，例如狐狸或狗

A face having a blank, fixed, or enigmatic expression

茫然的脸：具有空洞、僵硬、谜样表情的面孔

Something, often a trait, that disguises or conceals:

伪装：遮盖或掩饰的东西，常是某种特性：

“If ever I saw misery under a mask, it was on her face”(Erskine Childers)

“如果我曾经看到过掩饰起来的苦难，那就在她的脸上”(厄斯金·蔡尔德斯)

A natural or artificial feature of terrain that conceals and protects military forces or installations

掩体，掩蔽物：掩盖、保护军事力量或装备的天然或人工的地貌

An opaque border or pattern placed between a source of light and a photosensitive surface to prevent exposure of specified portions of the surface

遮光板：置于光源与感光性表面之间的、防止表面特定部分曝光的边或图形

The translucent border framing a television picture tube and screen

电视显像管和荧屏的半透明边框

Computer Science A pattern of characters, bits, or bytes used to control the elimination or retention of another pattern of characters, bits, or bytes

计算机科学 掩码，屏蔽：字符、字位或字节的模式，用来控制另一字符、字位或字节模式的消除或保留

A cosmetic preparation that is applied to the face and allowed to dry before being removed, used especially for cleansing and tightening the skin

面膜：涂在脸上的化妆前用品，干后除去，用以清洁和缩紧皮肤

Variant of masque

masque的变体

A person wearing a mask

带面具（面罩）的人

v（动词）

masked,masking,masks

vtr（及物动词）

To cover with a decorative or protective mask

带上：用带有装饰性图案的或具有保护功能的面具覆盖

To make indistinct or blurred to the senses:

掩盖，遮盖：便模糊，使不被觉察：

spices that mask the strong flavor of the meat

盖住了肉类腥味的香料

To cover in order to conceal, protect, or disguiseSee Synonyms at disguise

遮避掩护：为掩盖、保护或掩饰而遮盖参见 disguise

To block the view of:

挡住视线，遮住：

Undergrowth masked the entrance to the cave

灌木丛阻挡了视线，而看不见洞穴里面

To cover (a part of a photographic film) by the application of an opaque border

用遮光框遮住（胶片的一部分）

Chemistry To prevent (an atom or a group of atoms) from taking part in a normal reaction

化学 中断反应：防止（原子或原子群）参加常规反应

vintr（不及物动词）

To put on a mask, especially for a masquerade ball

戴面具，尤指为赴假面舞会

To conceal one's real personality, character, or intentions

隐瞒，掩饰：掩盖住某人真实的个性、性格或目的

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