光刻机中国造不出来吗

为什么中国生产不了光刻机（光刻机中国大陆为什么做不了）

全球有六家公司可以制造光刻机，其中荷兰ASML是唯一一家可以制造EUV光刻机的公司。上海微电子也是其中之一，在光刻机方面占据了全国80%的市场份额。

近年来，上海微电子在技术上不断突破。公司生产的28nm掩模版光刻机即将组装下线，可以实现国产7nm芯片的自主生产，不再高度依赖美国。全国都应该庆祝这个节日。为什么会被院士“泼冷水”？

光刻机又称掩模对准曝光机。它的核心部件是紫外光源，而深紫外光被称为DUV光刻机。最先进的是EUV光刻机，也就是极紫外光。市面上还在使用的光刻机只有这两种。

世界上有六家公司掌握了光刻机的制造技术，因此光刻机的价格非常昂贵，通常在3000万到5亿美元之间。只有荷兰的ASML有能力制造EUV光刻机，可以说完全垄断了全球市场。中国只能生产低端的光刻机。以前，即使是DUV光刻机也需要进口，而EUV光刻机在中国没有。

众所周知，芯片是集成的微电路。作为信息社会的基础，从超级计算机到电脑手机，所有的数码产品都需要芯片，而光刻机就是制造芯片的核心设备。它使用类似于照片印刷的技术，通过曝光将掩模上的精细图案印刷到硅片上。

首当其冲的是华为。华为手机不能用高通芯片，谷歌停止与华为合作。

华为作为一家通信公司和手机厂商，没有芯片是不行的。芯片供应中断对华为的影响很大。先是卖掉子品牌HONOR，然后华为手机出货量大减，经济损失数百亿美元。

公开资料显示，中国军工企业的核心芯片几乎都是国产的。民用领域芯片差距大。我国虽然是工业体系最完善的大国，但在光刻机技术上存在明显不足，所以使用的芯片主要是从国外进口。

全球最大的芯片代工厂TSMC利用DUV光刻机实现了7nm芯片的制造。其实华为可以自己开发高端芯片，但是没有办法实现量产。没有一家高科技公司能形成自己的芯片产业，高通也需要找TSMC加工芯片。

所以华为找不到TSMC加工芯片？问题出在掩模对准器上。由于TSMC的很多芯片生产技术都是美国的，美国可以通过专利技术限制TSMC为华为制造芯片。

而上海微电子生产的这款28nm光刻机将打破这一局面，它也属于DUV光刻机的范畴。对于我国来说，光刻机技术的进步将有利于国产芯片的自主发展。我再也不怕美国人把中国公司的脖子卡在芯片上了。

一旦28nm光刻机组织成功上马，国内就可以建成完全独立的芯片生产线。目前14nm和28nm芯片可以满足国内90%的需求。而SMIC已经宣布突破7nm芯片工艺，预计6月份实现量产。

最重要的是，SMIC的7纳米芯片技术也是由DUV光刻机实现的。此时，上海微电子宣布成功突破28纳米光刻机，并很快向SMIC交付了一台。这对于国产芯片来说，无疑是一个漂亮的翻身仗。

正当网民们为此欢呼雀跃的时候，中国科学家吴汉民院士给网民们泼了一盆冷水。他说，最高端的EUV光刻机价值超过1亿美元，需要英、美、日、德等国的高端技术合作才能生产。里面大概有10万个零件，全球有5000多家供应商。荷兰ASML也是组装用高端光刻机。中国自己制造EUV光刻机是不现实的，它需要参与全球化。

吴院士话里的意思很明显。主要有两点。第一层是中国虽然做出了DUV光刻机，但离顶级光刻机还很远，而且这些技术都被欧美等发达国家垄断，我们还需要进步。那么，荷兰ASML公司的EUV面膜贴合器有什么了不起的呢？

EUV光刻技术的研发起源于1996年，被国际半导体技术发展路线图确定为下一代第一光刻技术。之后美国、欧洲、日本、韩国都参加了比赛。

其中，美国参与EUV光刻的研究机构有50多家，在欧洲的资本最多。超过35个国家和110个RD机构参与了这项技术研究。日韩也是举国之力参与。经过20多年的激烈竞争，美国最终赢得并掌握了大部分技术专利。这也是为什么EUV光刻机出口需要美国批准，而美国禁止ASML向中国出口EUV光刻机的原因。

所以吴院士说是高端装备的组装公司。通过参与系统集成，进入EUV光刻机产业链。集合了美国光源技术，德国光学系统，英国real 空技术，日本材料。

就目前的芯片生产工艺而言，DUV光刻机只能通过多层套印技术生产7 nm工艺的芯片。EUV光刻机可以实现更高端的5nm工艺芯片，甚至2nm工艺芯片的生产。

集成电路经过几十年的发展，变得越来越复杂，元器件越来越小。因此，对光刻机的精度要求越来越高。总之，谁掌握了光刻机最先进的技术，谁就拥有了芯片行业的话语权。所以美国通过光刻机技术卡住了我们芯片的脖子。

吴院士的第二层意思是中国很难也没有必要独立制造光刻机，需要参与全球化。听到这里，很多网友可能会生气。外国能做出来。为什么中国不行？现在人们让我们窒息。

其实网友都有一个误区，就是这个外国不是一个国家。我们中国人再怎么努力，再怎么竞争，也打不过全世界吧？这是给自己找路子，也是给我们科研人员难堪。而且美国没有办法自主制造EUV光刻机，只是掌握了一些核心技术。

吴院士的意思也很明确。中国需要尖端的光刻机，但没必要闭门造车。我们可以掌握核心技术，然后参与全球化。荷兰ASML有5000家供应商，这5000家供应商也可以成为中国企业的供应商。美国再强大，也不可能限制这5000家企业。

总而言之，中国是全球最大的芯片消费市场。上海微电子光刻机技术的突破可以降低芯片成本，对国内企业来说是好事。但要研发高端光刻机，我们的任务依然艰巨！